Настоящий стандарт является модифицированным по отношению к международному стандарту ISO 14291:2012 «Вакуумметры. Определения и технические требования к квадрупольным масс-спектрометрам» (Vacuum gauges. Definitions and specifications for quadrupole mass spectrometers, MOD).

Настоящий стандарт распространяется на вакуумметры и определяет термины, относящиеся к квадрупольным масс-спектрометрам (далее - КМС), определяет параметры, технические требования, необходимые производителям КМС для обеспечения качества и единства измерений парциальных давлений и правильной калибровки КМС.

Настоящий стандарт применяется для КМС с ионным источником ионизации электронным ударом. Такие КМС предназначены для измерения соотношений атомной массы к заряду m/z, обычно менее 300. КМС с другими ионными источниками ионизации такими как, химическая, фотоионизация и ионизационным полем, а также измерения соотношений массы к заряду m/z более 300, которые, в основном, используются для определения органических веществ, лежат вне области применения настоящего стандарта.